吸嘴镀膜技术

采用化学气相沉积工艺（CVD）。整个过程是气态反应，且全程在真空条件下进行，因而涂层非常的均匀，此特性是其它涂敷方式难以实现的。

问题解决一

克服Chip沾黏在吸嘴上面。

问题解决二

减缓因吸放Chip排列不整齐，有歪斜的情况。

问题解决三

消除吸嘴吸放，所造成的印痕。

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产品信息

优异的隔离性能

单体活性分子体积已接近纳米可将橡胶类表面上的针孔填满，防止橡胶本身的胶质分子释出游离，或与外界的化学物质产生化学反应作用。

耐摩擦磨损

一定程度的耐摩擦磨损及具有防腐蚀耐酸碱功能，防止橡胶变形影响功能。

涂层致密光滑

橡胶经涂敷后，接触镀层时不会留下印记及伤害对象表面。
适用于工业设备部件橡胶吸嘴、吸盘 ....等以及晶圆制程的载具。

专利信息


台湾专利	大陆专利

SGS信息